高精度激光干涉仪

一、产品简介
   采用高性能短相干激光光源、高精度电子移相和高性能散斑匀化等技术，实现光学元件面形、光学系统波前等纳米级精密测量，用于国家平面计量基准、高端光学设备开发等领域。

二、主要技术指标：
   1.移相频率：2Hz/5Hz/10Hz/20Hz（根据环境振动要求选配）；
   2.测量口径：100mm/150mm/300mm等系列；
   3. PV面形测量精度：优于λ/20；
   4. RMS简单重复性：优于λ/10000；
   5.可测最小平行平板厚度：0.2mm；
   6.可选配球面测量标准镜：F0.7-F10，精度PV优于λ/20。

三、如需了解更多信息，可联系：张老师，010-82177821，kty11b@aircas.ac.cn。